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石英坩堝的分類
日期:[2018-06-27 11:36:42] 共閱[1492]次
我們都知道單晶硅制備過(guò)程中融硅的容器用的是石英坩堝,而單晶硅是半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池關(guān)鍵材料,因此改容器的使用范圍還是非常廣泛的。為滿足需要,生產(chǎn)廠家將其分為方形和圓形兩大類,方便各行業(yè)的選購(gòu)。
石英坩堝分為方形、圓形兩大類:圓形的石英坩堝是用在單晶爐里拉制單晶硅的;方形的石英坩堝是用在多晶硅鑄錠中的。
圓形的石英坩堝。圓形的又分透明和不透明兩種。透明的坩堝是用石英玻璃管在氫氧火焰的高溫中擴(kuò)徑、封端后,再吹制而成的。透明的坩堝具有石英玻璃的所有特性,它是高純的二氧化硅體,對(duì)高純硅的純度影響低;它具有很低的膨脹系數(shù)、非常低的熱導(dǎo)率、相當(dāng)良好的電絕緣性,特別是耐溫性能好,可在1450°C以下使用,所以可用在單晶爐里盛裝熔化的多晶硅液體。但透明坩堝的制作工藝復(fù)雜,成本太高,而且容易導(dǎo)致不均勻的熱傳輸,不利于電子工業(yè)的發(fā)展。另外,現(xiàn)在的制造方法還不能制造出大口徑的透明坩堝。不透明的坩堝是用電弧法制成的,工藝簡(jiǎn)單,成本低,而且可以生產(chǎn)出大口徑的坩堝,完全可以滿足單晶硅生產(chǎn)的需要。
方形的石英坩堝。方形的坩堝一般不是純的石英玻璃制成的,是用石英陶瓷制成的,其全稱應(yīng)該是“方形石英玻璃陶瓷坩堝”。
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石英陶瓷以石英為原料,采用陶瓷生產(chǎn)工藝制成。熱膨脹系數(shù)小、熱穩(wěn)定性好。強(qiáng)度隨著溫度的升高而增加
石英坩堝用途廣泛,尺寸可定制,并提供產(chǎn)品圖片。具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用越來(lái)越廣泛
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