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石英陶瓷在半導體中的應用
日期:[2024-06-11 11:10:15]   共閱[180]次
  石英陶瓷應用廣,這種物質(zhì)在性能方面也確實比較穩(wěn)定,我們熟悉的半導體,可以說離不開它們,因此,它能夠在半導體當中應用比較廣泛,所以說,下面我們來具體說一下它在半導體中的應用是怎樣的?所以,在接下來的內(nèi)容中,我們來說一說它在半導體中的應用是什么?
  1、石英陶瓷是重要的半導體輔材,廣泛應用于半導體加工,純石英材料由于其耐溫,耐酸,低膨脹和良好的管夠透過性的特殊物理性能,滿足了半導體工業(yè)對載具材料中堿金屬和重金屬含量的苛刻要求,成為該領(lǐng)域中不可缺少的材料。
  2、石英材料貫穿了半導體領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品制造的關(guān)鍵過程:石英陶瓷用于提煉、清洗容器以及制作晶圓IC載體;石英錠、石英筒是半導體制造擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝中所用的石英法蘭、石英擴散管、石英鐘罩的材料;合成石英錠是平板顯示技術(shù)中關(guān)鍵部件光掩膜基板的主要基材。
  3、具有高熱穩(wěn)定性、低熱膨脹系數(shù)等優(yōu)點,能夠滿足高要求的半導體制造需求。
  石英陶瓷在半導體中的應用很廣泛,因為這種產(chǎn)品確實耐高溫性能很強,并且如果想要做半導體材料的話要求還是很高的,但是,這種產(chǎn)品基本上符合要求。所以說,根據(jù)它的一些性能,我們是可以在半導體行業(yè)當中對其進行使用的。

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